日本Horiba STEC UR-714氣體質量流量控制器氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。
日本Horiba STEC UR-714氣體質量流量控制器產品簡介:
UR系列產品為使用高精度壓力傳感器及*效,響應迅速壓電陶瓷閥的數字式調節器。它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精細液體流量控制里是非常有名的,以及擁有很大的市場份額。