日本Horiba STEC SEC-E50氣體質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置,質量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。
日本Horiba STEC SEC-E50氣體質量流量控制器產品簡介:
所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響,如需要準確測定時,須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候,不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在須對流量進行準確計測和控制的領域,質量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。