Surface Particle QV 表面塵埃粒子計數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品,光學(xué)鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機臺等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
SFP-QV表面塵埃粒子計數(shù)器產(chǎn)品簡介:
Surface Particle QV 表面塵埃粒子計數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品,光學(xué)鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機臺等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
核心零部件(光學(xué)傳感器)及控制器等采用美國萊特浩斯所生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測量精度。
外殼采用SUS316L不銹鋼制作,并經(jīng)表面鈍化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作,檢測光學(xué)傳感器采用美國進口整機,
吸氣的氣泵為旋片式進口氣泵,并可通過流量傳感器來自動調(diào)節(jié)氣泵的運行流量,使其保持在一個穩(wěn)定的檢測流量范圍內(nèi),
表面測試探頭根據(jù)德國同類產(chǎn)品進行改良優(yōu)良,并配有防靜電軟管與主機連接,其于用排氣及吸氣過濾的囊式過濾器。內(nèi)部濾材為德國進口,從而保證儀器的檢測精度及運行穩(wěn)定性。
表面粒子計數(shù)器由三部分組成:
掃描取樣頭:取樣的同時可以提供一定壓力的吹掃氣流,可以集成操作控制器;
激光塵埃粒子計數(shù)器主機:主要由氣泵、傳感器、主控板、過濾器以及電池組成;
連接主機與掃描采樣頭的管道:包括取樣管道與吹掃管道。